气敏电阻式传感器一般由敏感元件、加热器和外壳组成,此组成方式和光电开关传感器有的不同,具体情况如下。
1、按结构分
气敏电阻式传感器按结构可分为烧结型、薄膜型和厚膜型,烧结型以氧化物半导体材料为基体,将电极和加热器埋入金属氧化物中,另热加压成型,再用低温制陶工艺烧结制成,又称为半导体陶瓷,制作方法简单,寿命长,但是误差较大;薄膜型是用蒸发和溅射方法在绝缘基片上形成氧化物薄膜,具有灵敏度高和反应速度快的特点;厚膜型是将气敏材料和硅凝胶制成厚膜胶,然后将厚膜胶用丝网印刷到装有铂电极的基片上,烧制后制成,具有适合批量生产的特点。
2、按加热方式分
气敏电阻式传感器按加热方式可分为直热型和旁热型。
直接热型气敏电阻式传感器这种传感器结构简单、成本低,但易受环境气流影响,稳定性差。
旁热型气敏电阻式传感器是管芯结构的测量电路加热器分离,避免相互干扰,这种传感器可靠性和使用寿命比直热型高。 |