电阻就矿业片可分为金属应变片和半导体应变片两大类。金属应变片又可分为金属丝式、箔式、薄膜式三种。
金属应变片分为金属丝式应变片和金属应变片,与光电开关传感器的器件相比不同的地方做以下详细介绍:
1、金属丝式应变片:
金属丝式具应变片由金属电阻应变丝、基体、保护层和引线等部份组成。金属电阻就矿业丝又称为敏感栅,一般敏感栅的直径为0.015-0.05mm。制作时先将敏感栅粘贴在绝缘的基体上,为方便测量两端用引线引出,上面再加上保护层,防止外界环境影响其工作。其特点是蠕动较大,金属丝比较容易脱落,成本低,价格便宜。
2、金属箔式应变片:
金属箔式应变片是通过光记得、腐蚀等工艺,在绝缘基片上制成很薄的金属箔敏感栅。与金属丝式应变片相比,它的优势在于敏感栅粘贴面积大,可以更好地随被测物体变形,横向效应小,散热条件好,允许通过的电值较大,可根据实际需要制成各种开关,便于批量生产等,因此已逐渐取代金属丝式应变片。
3、金属薄膜式应变片:
金属薄膜式应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等技术,在非常薄的绝缘基片上形成0.1um以下的金属电阻薄膜的敏感栅,再加上保护层而制成的。它的优点是应变灵敏度高、方便批量生产,工作范围广。
在半导体应变片是用半导体材料制成的,测量原理是基于半导体材料的压阻效应。压阻效应是指半导体材料在受外力作用时,半导体材料的电阻率P发生变化的现象,它的优势在于灵敏度高、尺寸小、横向效应小、动态响应好,但是又有温度系数大,非线性比较严重等缺点。 |