和微悬臂梁的质量敏感效应，可检测到飞克量级的质量变化。因此，微悬臂梁在以分子间特异性吸附为基本敏感机理的化学、生物量微光电开关传感器中，具有非常好的应用前景。例如，将核酸之间的杂交或抗体与抗原之间的特异性结合转换为微悬臂梁谐振频率的变化，可间接感知生物分子之间的识别和结合。该检测方法无需传统免疫分析中必不可少的本科、同位素、荧光等标记物，即可实现对核酸分子杂交或抗与抗原特异性结合的检测和分析。

　　基于谐振原理的微悬臂梁式化学微传感器原理是悬臂梁上固定一层对被测分子有特异结合性质的分子探针，当悬臂梁在被测环境中工作时，分子探针与被测子发生特异性结合，使得悬臂梁的等效质量发生改变，从而影响悬臂梁的谐振频率。通过测量谐振频率的改变情况，即可检测到分子探针与被测分子之间相互作用的过程。

　　对表面吸附的检测可以有两种方式：一种是静态的，即检测分子吸附所导致的悬臂梁弯曲变形;另一种则是动态的，即检测悬臂梁的谐振频率偏移。