MIS二极管光电开关的伏安特性对氢气很敏感，当氢气体积分数改变时，伏安特性会发生明显的变化，因而可利用它来检测氢气。C-W储备大学开发了带有加热器和测温元件的MIS二极管型微结构氢敏传感器，为了提高灵敏度和耐久性，电极金属用PD-AG合金。用集成电路工艺制造出加热器、测温元件和MIS二极管，最手用牺牲层工艺从背面将硅片选择性地减薄。

　　这种测氢二极管在正偏或反偏状态下都可测氢气体积分数：用恒流源正偏置MIS二极管，其正偏压降可定量显示氢气的体积分数;用恒压源反偏置MIS二极管，反向漏电流可定量显示氢气体积分数。