利用MEMS技术，将传统的化学量传感器进行微型化，是MEMS技术的研究方向之一。与物理量光电开关传感器不同的是，这种传感器的敏感元件上需要有可以与被检测分子产生相互作用的物质，因此传感器的设计不仅需要考虑MEMS工艺，还需要考虑敏感物质在元件表面的制作问题。

　　基于MEMS的新型微结构气敏传感器，主要有硅基微结构气敏传感器和硅微结构气敏传感器。硅基微结构气敏传感器是衬底为硅，敏感层为非硅材料的微结构气敏传感器，主要有金属氧化物半导体、固体电解质型、电容型、谐振器型。硅微结构气敏传感器主要是金属氧化物半导体场效应管MOSFET型和钯金属绝缘体半导体MIS二极管型。MEMS技术将传感器与IC电路集成一起，而且精度高、体积小、质量轻、功耗低、选择性好、稳定性高，同种器件之间的互换性好，可批量生产，所以是传感器工艺的发展方向，而且基本所有的传感器都可以用MEMS技术生产。