与物理量光电开关传感器相比，化学量传感器的一个重要特征在于检测过程中一般会与测量环境之间发生物质的交换。对于大部分化学量传感器来说，这种物质的交换过程往往伴随着化学反应。显然与能量交换的可逆性相比，化学反应的可逆性要差得多，往往会成为影响微传感器响应特性、滞后、重复性乃至长期使用寿命等性能指标的重要因素。因此，如果从数值上来看，大部分化学量微传感器的性能指标，尤其是使用寿命以及鲁棒性方面，尚无法一物理量微传感器相比，摆脱化学反应过程，利用物理方法检测化学量，无疑是解决这一问题的最好方案。