利用光电开关热电偶同样可进行红外热辐射测量。通学点将多个热电偶电中联成热电堆。热电堆的优点在于输出电压比热电偶大许多。在热电偶的热端涂上辐射吸收层,将入射 的红外辐射转换为热,进而产生电压信号。
与热辐射测量器型微传感器相比,热电堆有很多优点,它不需参考元件进行补偿,热电堆本身产生电压,不需外加供电电源,只要保持响鹫较快,一般为5-10US。
给出了一种热电堆元件的结构。冷端置于硅衬底上,以提供有效的热沉。热端制备有黑色吸收体,以吸收红外辐射。红外辐射引起温度的上升量取决于入射 的红外光强。热电堆所采用的两种不同的热电偶材料需要制作 在低热传导率、低热容量的薄膜片上,这样可在冷端与热端之间产生更大的温度差,并因而提高微传感器的性能。
这种热电堆元件的封闭结构。虽然从原理上说,热电堆元件对红外辐射的响应不受环境温度影响,但实际器件输出还是会受环境温度变化。所以,在元件中集成设置一个热敏电阻来探测环境测试变化,以对热电堆的输出特性进行补偿。此外,由于热电堆对入射波长不敏感,所以滤光窗参数的设计非常重要。 |