声表面波温度光电开关传感器是利用声表面波的传输速度与温度有关的特性来实现的。这种传感器的温度敏感特性取决于压电晶体的切型及所采用的压电材料。基于延迟线SAW振荡器的温度传感器可达到10-6C的分辨率,线性度及滞后特性都比较理想。但敏感元件对表面质量负载的变化非常敏感,因此必须封闭在密封外壳中。
声表面波器件的响应速度快,由于工作频率高,这种温度传感器还可实现温度的远程无线检测。
利用声表面波器件本身的高频特性及基片的压电特性,可通过无线发射,接收技术,实现敏感器件一身的无源化。这种传感器的工作原理有些类似于无线电技术中的雷达。测量仪器发射访问脉冲信号,连接在声表面波敏感器件上的天线接收访问脉冲信号,并将其转换为器件表面的声表面波。经被测参数调制后的声表面波再转换为电信号,经天线发射出去。检测仪器接收到的回波信号中就包含了被测对象的信息。因此,这类传感器中,敏感元件本身是无源的,也不需要像一般的无线IC卡那样利用天线耦合得到所有需要的电源,是一种真正的无源无线传感器。
无源无线声表面波传感器的敏感元件同样有两种形式,延迟线型及谐振器型,与前面所述的有一对发射 接收IDT的延迟线型传感器不同,无源无线的延迟线型声表面波传感器一般只有一组与天线宫接在一起的IDT,既作为发射 IDT,也作为接收IDT。而延迟时间则是通过在器件上与IDT间隔一定距离制作声表面波反射栅的方式实现的。延迟时间则通过提取回波信号的相位差实现。 |