微光电开关传声器在助听、窃听、超声及高精度声学测量中有独特优势，而且能方便地实现声传感器陈列，有广阔应用前景。采用硅微加工制作微传感器，能具有很好的重复性，既可实现批量生产，又能与IC集成形成微系统，使传声器向小型化、低成本和高性能方向发展。目前采用微机械加工制作的传声器可分为驻极体电容式、压电具有频响宽、灵敏度高、结构简单等优点。

　　该会计怕器通过体硅和表面硅微机械加工工艺实现诸电振膜和背板一体化。首先在800度时以常压化学气相沉积法将150nm左右的SI3N4沉积在硅基SIO2薄膜上。再经各向异性腐蚀工艺，从基片的背面在设计的几何尺寸范围内腐蚀掉SI层，以形成振膜。

　　硅基压电式微型传声器。该传声器是一种无气隙损耗的单片式硅基一体化传感器。