接近开关传感器和半导体集成电路技术相结合,使传感器具有集信号获取,信号调理放大,信号转换与处理于一体的特点,因此,与一般传感器相比,集成传感器一般都具有体积小,反应快,抗干扰能力强,输出标准化信号或数字信号,功能强,性能稳定,精度高等优点。
最安,因为以半导体为基材的物性型传感器的制作工艺与集成电路工艺兼容,因而与电路实现集成化的集成传感器以物性型的屒多,近几年来,随着微机械加工技术的发展,一些适合以硅为基材,利用MEMS技术制作的微型敏感结构来实现的结构型集传感器己商用化,如三维加速计,陀螺仪苡片等,这己改变了集成传感器以物性型为主的市场局面,随着集成电路技术和MEMS技术的快速 发展,集成传感器中集成的电路和敏感无件将越来越多,集成传感器的功能也将越来越强 |