随着半导体集成电路技术的发展,接近开关传感器可以与越来越多的接口电路和信号处理电路制作在同一芯片上或封闭于同一管,因此称为集成接近开关传感器。一般集成传感器是指采用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的传感器。
接近开关传感器的集成化有两个方面含义:一是将敏感元件与其转换或调理电路,如放大、运算、温度补偿等电路集成在同一芯片上;二是将多个相同或不同的敏感元件集成在同一芯片上形成敏感元陈列,例如,图像接近开关传感器将上万个相同的光敏二极管集成在同一平面上。集成化对于接近开关传感器的突出作用主要体现在减少尺寸、降低功耗、增强功能、提高性能和减少成本上。
典型的集成接近开关传感器功能框图。该接近开关传感器可分为四嗍分。第一部分为敏感元件。敏感元件本身所产生的信号经常受噪 声及其他因素的干扰,因此需要第二部分,即包括放大、线性化、补偿、滤波等在内的信号调理电路来降低传感器的非理想特性。有时在同一芯片中采用了多个敏感元件,还需用到多路选择开关。要求接近开关传感器得到的信号必须是串行或并行数字格式时,需通过A/D转换器或频率-编码转换器实现。 |