ISFET进行化学量-离子浓度到电学量-电势的转换的关键器件是MOSFET晶体管。有N沟道增 强型MOSFET和沟道中用的N型半导体的耗尽型晶体管。

　　ISFET的工作机理和MOSFET的机理相同，只是它用离子敏感膜来代替栅极的金属接角部分。选用合适的离子敏感膜，可以在离子选择电极上得到与对应离子活度对应的电位，其阶跃响应特性和跨导都非常令人满意。经过具体工程制作和实验应用，ISFET的稳定性和寿命完全符合化学分析的要求。