氧化铝薄膜露点湿度接近开关传感器的氧化层薄膜的厚度是该原理接近开关传感器性能的关键，在气体与液体中直接测量水的分压非常便利、有效。GE公司制造的探头所具有的氧化层薄膜厚度使其显示真正的绝对湿度，而不是相对湿度，同时使得温度与滞后的影响降至最低，具备快速响应和超常的标注定稳定性。其探头由经过一系列特殊工艺阳极电镀使铝基表面产生多孔氧化层，并在氧化铝表面上蒸镀一层极薄金镀层。该铝基与金镀层形成了两个电极，使整个结构成为一个氧化铝电容。水气快速地渗透过金镀层，并平衡分布于氧化句号的孔隙壁上。氧化铝结构吸收的水分子数量决定了孔隙壁的传导率。每个孔电阻值提供了一个独特的、与水的分压成函数关系的阻抗。这个函数关系适用于气体与液体中的水分测量。

　　例如，某型号氧化铝薄膜露点湿敏器件，其露点/霜点标注定温度范围为-110到-60度。