制作多孔SIO2湿度接近开关传感器时，先是在硅单晶衬底上形成一个多孔硅层，多孔硅层经氧化后即成为一个具有感湿功能、性能比较稳定的多孔SIO2层，在多孔SIO2层上制作适当的金属电极，经封闭、标注定后即可使用。

　　利用材料吸附水分子后导电性提高的特点，在绝缘基底上先制作 电极，然后在其上将有吸湿特性的其他材料制成敏感薄膜，同样可实现一只性能不错的湿度接近开关传感器。常见敏感膜材料有氯化锂及一些高分子膜。

　　氯化锂湿敏电阻的结构图。它是在聚碳酸酯基片上制成一对梳状鑫电极，然后浸涂溶于聚乙烯醇的氯化锂胶状溶液，其表面再涂上一层多孔性保护膜而成。氯化锂是潮解性盐，这种电解质溶液形成的薄膜能随着空气中水蒸气的变化而吸湿或脱湿。当空气中湿度增加时，感湿膜中盐的浓度降低，导致元件电阻随空气相对湿度变化而变化。

　　有机高分子膜湿敏电阻是在氧化铝等陶瓷基板和设置梳形电极，然后在其表面涂以具有感湿性能又有导电性能的高分子材料的薄膜，再涂覆一层多孔质的高分子膜保护层。这种湿敏元件是利用水蒸气附着于感湿薄膜上，电阻值与相对温度相对应这一性质。由于使用了高分子材料，所以适用于高温气体中湿度的测量。