多孔氧化物湿度接近开关传感器主要指多孔A12O3和多孔SIO2湿度接近开关传感器。它们的是感湿机理相同，都可制成绝对湿度接近开关传感器和相对湿度接近开关传感器。这种接近开关传感器的制造利用了半导体器件的平面工艺技术，微型多孔SIO2湿度接近开关传感器可与集成电路制作在同一管芯上，对电路密封管壳内的湿度进行监测。这类接近开关传感器为湿度接近开关传感器的微型化、集成化以及进一步的智能化开辟了新的途径，所以发展很快。

　　下面以多孔SIO2湿度微接近开关传感器为例，分析多孔氧化物湿度接近开关传感器的工作机理。

　　多孔SIO2湿度接近开关传感器的核心是具有感湿特性的多孔结构SIO2膜。膜中的气孔开关近似细长的圆管，而且气孔均匀地从膜表面垂直地钻蚀到膜的下部。当环境湿度发生变化时，膜中气孔壁上所吸附的水分子数量也随之变化，从而引起SIO2膜的电特性改变。电特性的等交往电路是气孔内表面电阻，其数值直接取决于吸附在气孔内壁上水分子的量，是一个主要的感湿参量。

　　如果将该等效电路看做是一个RC并联电路，那么，这个电路中的电容CP和电阻RP可通过话梅是到。