声表面波SAW式气体接近开关传感器制作在压电材料的衬底上，一端的表面为输入换能器，另一端为输出换能器。两者之间的区域淀积了能吸附VOC的聚合物膜。被吸附的分子增加了接近开关传感器的质量，使声波在材料表面的传播速度或频率发生变化，可通过测量声波的速度或频率来测量气体体积分数。主要气敏材料有聚异丁烯 、氟聚多元醇等，用来测量苯乙烯和甲苯等有机蒸汽。其优势在于选择性高，灵敏度高，在很宽的温度范围内稳定，对温度响应低和良好的可重复性。SAW接近开关传感器输出频率信号，当外界待测量变化时，引起振荡频率变化，易于将敏感器与相配的电子器件结合在一起，以实现微型化、集成化。