接近开关半导体式气体传感器是利用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件,与气体相互作用时产生表面吸附或反应,引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化等气敏特性来实现气体检测。自一九六二年半导体金属氧化物陶瓷气体传感器问世至今,半导体式气体传感器是应用最普遍、最具有实用价值的一类接近开关气体传感器。
根据气敏机理的不同,气体传感器可分为电阻式和非电阴式两种。电阻式接近开关半导体气体传感器利用半导体材料因吸附气体而引起半导体元件电阻值发生变化的特性制成。利用半导体表面吸附气体而引导起半导体电阻改变的称为表面电阻控制型,如SNO2、ZNO、WO3等。利用接近开关半导体材料的体电阻因吸附气体而引起半导体电阻值改变的称为体电阻控制型。 |