Sno2是典型的n型半导体,以sno2为基材制备的气敏元件是应用最广的一种接近开关气敏元件,其检测气体的对象包括CH4、C3H8、CO、C2H5OH、H2S等可燃性气体和呼出气体中的酒精、NO等。它与其他氧化物半导体气敏元件相比有以下特点:
1、工作温度低。其最佳工作温度在三百度以下,可节约能源并延长接近一筹莫展关气敏元件的使用寿命。
2、在一般检测范围内,其电阻率变化范围大,输出信号强,无需高倍放大,因而信号处理较方便。
SNO2元件与空气中电子亲和性大的气体发生反应,形成吸附氧。这使N型材料的表面空间电荷层的传导电子减少,从而使器件处于高阻状态。在与被测气体接触时,气体与吸附氧发生反应,将被氧束缚的电子释放,使表面电导增 加、器件电阻减小。为改变sno2元件的性能,常在sno2材料中加入添加剂,如添加百分之二到百分之五质量分数的贵金属可提高其灵敏度,添加微量衡土元素可大大提高其气体识别能力,添加适量的氧化银以及少量四氯化锡、酸洗石棉则对乙炔有很好的选择性,添加少量氧化物可改谱其热稳定性及响应特性。
Sno2元件可做成烧结型、厚膜型和薄膜型三种,其中以厚膜型和薄膜型最为常见。 |