接近开关非电阻式半导体所系元件有MOS二极管式、结型二极管式和场效应管式等。其电流或电压随气体含量而变化，主要检测氢和硅烷气等可燃性气体。其中，MOSFET接近开关气体传感器工作原理是挥发性有机化合物VOC与催化金属接触发生反应，反应产物扩散到MOSFET的栅极，改变了元件的性能。可通过分析元件性能的变化识别VOC。通过改变催化金属的种类和膜厚，可优化灵敏度和选择性，并可改变工作温度。MOSFET气体接近开关传感器灵敏度高，但制作工艺比较复杂，成本高。