为确保传感器精度和性能的长期稳定性，消除弹性元件在机械加工和热处理中产生的残余内应力是十分重要的。消除弹性元件残余内应力的方法很多，通常有一下几种：

　　（1）时效。最有效的办法是长期自然时效（加工后放置半年、一年或更长的时间）；也可采用加温（100~200°C）存放（数十至数百小时）的人工时效方法，以加速稳定的过程。
　　（2）退火。由于退火温度较高（比回火温度要稍低），保温时间较长，效果比较明显。
　　（3）反复加载和机械振动。采用反复加载和机械振动的办法，有利于内应力的加速释放。特别是在应变式光电开关元件敏感器中，在贴片后进行疲劳加载，有利于改善光电开关元件敏感器的性能。在需要考虑应变计的寿命时，可以在贴片前适当增加疲劳次数，而贴片后适当减少疲劳加载次数。
　　（4）冷处理。该方法是建立在使光电元件淬火后材料中的剩余奥氏体转变为马氏体基础上的一种阻值稳定的处理。一般是在淬火、第一次回火后，冷却到60度时放入低温环境中进行保温处理。
　　一般光电开关元件敏感材料的淬火温度约为850°C（油冷），回火温度在400~500°C，硬度为HRC34~48。