气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。由于而死气体种类繁多,性质各不相同,不可能用一种传感器检测所有类别 的气体,因此,能实现电转换的传感器种类很多,按构成材料可将气敏传感器分为半导体和非半导体两大类。目前实际使用最多的是半导体气敏传感器。 半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体表面接触时,产生的电导率等物理性质的变化来检测气体的。按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部,可分为表面控制型和体控制型,前者半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子接触,结果使半导体的电导率等物理性质发生变化,但内部化学组成不变,后者半导体与气体反应,使半导体内部组成发生变化,从而使电导率变化。按照半导体变化的物理特性,又可分为电阻型和非电阻型,电阻型半导体气敏元件是利用敏感材料接触气体时,其阻值变化来检测气体的成分或浓度,非电阻型半导体气敏元件是利用其他参数,如二极管仗安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。 气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的,由于检测现场温度、湿度的变化很大,又存在大量粉尘和油雾等,所以其工作条件较恶劣,而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物,附着在元件表面,往往会使其性能变差。因此,对气敏元件有下列要求,能长期稳定工作,重复性好,响应速度快,共存物质产生的影响小等。用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上的天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒等有害气体的监测、预报和自动控制。 |