所谓光栅,简单地说,就是由大量等宽等间距的平行狭缝所组成的光学器件。光栅传感器是利用光栅的莫尔条纹现象实现几何量测量的装置。光栅传感器以其高精度、高分辨率和大动态范围的优点,广泛应用于静态测量、动态测量和自动化等领域 。光栅式数字传感器广泛用于测量位移有关的非电物理量。
光电开关的光栅式数字传感器的分类:光栅是由很多等间距的透光缝隙和不透光的刻线均匀相间排列构成的光电器件。按其原理和用途,它又可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅是利用光的衍射现象制造的,主要用于光亦分析和光波长等量的测量。讲师光栅主要利用莫尔现象,测量方法长度、角度、速度、加速度、振动动等物理量。计量光栅按应用范围不同又有透射光栅和反射光栅两种,具体制作者时又可制作者成线位移的长光栅和角位移的圆光栅。按光栅的表面结构,又可分为幅值光栅和相位闪辉光栅等。幅栅是利用照相复制工艺加工使栅线与缝隙为黑白相间结构,故又称为黑白光栅。相位光栅的横断面呈锯齿状,常用刻划工艺加工。除了上述光栅外,目前还研制了激光全自习光栅和偏大振光栅等新型光栅。磁栅是一种磁电转换器,其工作原理类似录音带。 |