接近传感器是广泛使用的,如汽车在多压力测量,如压力测量压力测量,和轮胎系统,液压系统和燃油系统,环境控制,如加热,通风和空调的压力测量,航空系统压力测量和血压测量动脉血压测量。这里将在传统接近传感器采用了一种新的介观压阻效应的反应原理,即在共振隧穿电压附近,通过四个物理过程,弱机械信号转换为电信号的一种强。
基于共振隧穿膜代替传统的压阻式应变计作为敏感元件的介观压阻效应,通过理论分析和仿真验证该结构对传感器的灵敏度和固有频率的影响,从理论上证明了介观压阻效应的原理可以用于高压力传感器的灵敏度,扩大测量频率范围。
由于传感元件和转换元件的集成,压力微传感器的结构具有体积小,固有频率高的特性,可以测量各种频率范围内的脉动压力。不同偏置电压下传感器的灵敏度。可调整灵敏度。的微压力传感器的结构相同,如果敏感元件是硅或铜镍合金压敏电阻,对0.38x104v / o.17 M×104v /米。可以看出,基于共振隧穿二极管的微压力传感器的灵敏度比传统的传感器更灵敏的敏感性。 |