当半导体应变片受到外界应力的作用时，其电阻率的变化与受到应力的大小成正比。对于不同的半导体，压阻系数和弹性模量都不一样，所以灵敏度了不相同，但总的来说，压阻式光电开关传感器的灵敏系数大大高于金属电阻应变片的灵敏系数，这是压阻式光电开关传感器的一个突出优点。

　　压阻式光电开关传感器的材料一般半导体应变片是沿所需的晶向将硅单晶体切成条形薄片，厚度约为0.05-0.08mm，在硅条两端先真空镀膜蒸发一层黄金，再用细金丝分别与两电极焊接。硅条是感压部分，基底起支撑和绝缘作用，采用胶膜材料，电极一般用康铜箔，外引线用镀银铜线。